Fiche équipement

Sorbonne de chimie dédiée au spin coating de résines photosensibles :

- Paillasse inox de largeur 1,5 m

- 2 spin coaters + une hot plate Süss Microtec intégrés

- Soufflette N2 avec filtre 0,8 µm

- Prises électriques (3)

- Raccords rapides réseaux N2, air comprimé et vide

- Tiroirs ventilés de stockage de solvants

- Sonde de vitesse frontale avec alarme