Fiche équipement

Désignation équipement

Sorbonne lift-off classe 100

 

Description:

Sorbonne de chimie dédiée aux manipulations de solvants en photolithographie (nettoyage de substrats, stripping, lift-off) :

- Paillasse inox de largeur 1,5 m

- Evier EDI avec douchette

- Soufflette N2 avec filtre 0,8 µm

- Prises électriques (3)

- Raccords rapides réseaux N2, air comprimé et vide

- Tiroirs ventilés de stockage de solvants

- Sonde de vitesse frontale avec alarme

Nom de l’équipement

Sorbonne solvants classe 100: cleaning, stripping, & lift-off

Marque

HPE

Modèle

1