Fiche équipement Désignation équipement Insoleuse UV-957 Nom de l’équipement Tape UV irradiation Marque Modèle AE UV-957 Caractéristiques: - Lié aux équipements : Wafer Mounter RAD 2500 Disco Grinder Disco Cleaning system Plasma R3T Scie Disco DFD636 - Wafers : 2 à 12'' - Longueur d’onde : 360 nm - Durée d' illumination : 2 à 3 sec - Temps de process : 17 s / plaquette