Fiche équipement

Désignation équipement

Tape UV RAD 2000

 

Description:

RAD 2000/12 est un système d'irradiation UV semi-automatique utilisé pour insoler le ruban de tape adhésif de type UV.

Il s'applique aux tailles de cadre d'anneau utilisées pour les plaquettes de 200 mm et 300 mm.

Les bénéfices :

  • Contrôle total du processus sur la surface globale de la plaquette grâce à l'insolation constante de la plaquette complète,
  • Optimisation et fiabilité de l'insolation en utilisant un onduleur haute fréquence et un contrôle en boucle fermée de la lampe UV,
  • Utilisation simple.

Nom de l’équipement

Tape UV irradiation

Marque

Lintec

Modèle

RAD-2000m/12

 

Caractéristiques:

- Lié aux équipements :

  • Wafer Mounter RAD 2500
  • Disco Grinder
  • Disco Cleaning system
  • Plasma R3T
  • Scie Disco DFD636

- Wafers : 2 à 12'' 

- Longueur d’onde : 360 nm

- Durée d' illumination : 2 à 3 sec

- Temps de process : 17 s / plaquette

                 


 

 

Tape UV irradiation