Fiche équipement

Désignation équipement

Insoleuse UV-957

 

Nom de l’équipement

Tape UV irradiation

Marque

Modèle

AE UV-957

 

Caractéristiques:

- Lié aux équipements :

  • Wafer Mounter RAD 2500
  • Disco Grinder
  • Disco Cleaning system
  • Plasma R3T
  • Scie Disco DFD636

- Wafers : 2 à 12'' 

- Longueur d’onde : 360 nm

- Durée d' illumination : 2 à 3 sec

- Temps de process : 17 s / plaquette