Fiche équipement

Désignation équipement

Décapsulation Chimique

 

Description:

Il s’agit d’un équipement permettant de réaliser automatiquement une décapsulation acide, c’est-à-dire de mettre à nu la puce d’un composant électronique.


Il est composé de :

  • Support échantillon & Tête d’etching
  • Couvercle de protection
  • Pompe pneumo-électrique
  • Echangeur thermique
  • Bidons de réserve d’acide

Cet équipement est intégré dans une sorbonne dédiée aux acides :

- Paillasse PP de largeur 1 m

- Evier EDI

- Soufflette N2 avec filtre 0,8 µm

- Prises électriques (3)

- Raccords rapides réseaux N2, air comprimé et vide

- Tiroirs ventilés de stockage d'acides

- Sonde de vitesse frontale avec alarme

Nom de l’équipement

Machine de décapsulation acide

Marque

Digitconcept

Modèle

JET ETCH 2

 

Caractéristiques:

- Acides disponibles :

  • Nitrique, 
  • Sulfurique ou mélanges

- Durée : 10 – 1800 sec., par pas de 1.0 sec


- Température :    

  • Gamme : 20 – 250 °C
  • Stabilité : ±1°C


- Précision et répétitivité des décapsulation grâce au contrôle :

  • de la température,
  • du flux d’acide et
  • de la durée des opérations.


 

 

Machine de décapsulation acide