Fiche équipement

Il s’agit d’un équipement permettant de réaliser automatiquement une décapsulation acide, c’est-à-dire de mettre à nu la puce d’un composant électronique.

Il est composé de :

• Support échantillon & Tête d’etching
• Couvercle de protection
• Pompe pneumo-électrique
• Echangeur thermique
• Bidons de réserve d’acide

Cet équipement est intégré dans une sorbonne dédiée aux acides :

- Paillasse PP de largeur 1 m

- Evier EDI

- Soufflette N2 avec filtre 0,8 µm

- Prises électriques (3)

- Raccords rapides réseaux N2, air comprimé et vide

- Tiroirs ventilés de stockage d'acides

- Sonde de vitesse frontale avec alarme

- Acides disponibles :

• Nitrique, 
• Sulfurique ou mélanges

- Durée : 10 – 1800 sec., par pas de 1.0 sec

- Température :    

• Gamme : 20 – 250 °C
• Stabilité : ±1°C

- Précision et répétitivité des décapsulation grâce au contrôle :

• de la température,
• du flux d’acide et
• de la durée des opérations.