Fiche équipement

Le VEECO / NT1100 est un profilomètre optique, permettant la caractérisation topologique sans contact d'une surface 3D en haute résolution de matériaux non transparents. Il a la capacité de capturer un large éventail de caractéristiques du sous-nanomètre au millimètre.

L'équipement comprend :

• Objectifs échangeables 
• Source de lumière blanche
• Plaque mobile avec inclinaison
• Contrôle logiciel, traitement

Objectifs de la caméra:

• Objectifs : *5, *50
• Zoom: *0,5, *2
• Champ de vision de 0,05 à 8,24mm

Modes :

• VSI: interférométrie en lumière blanche
• PSI: interférométrie à déphasage

Lampe halogène au tungstène:

• Intervalle en Z : de 0,1nm à 1 mm
• Résolution: <10nm
• Vitesse de numérisation 2D maximale : 7.2µm/s