Fiche équipement

Désignation équipement

Profilomètre optique

 

Description:

Le VEECO / NT1100 est un profilomètre optique, permettant la caractérisation topologique sans contact d'une surface 3D en haute résolution de matériaux non transparents. Il a la capacité de capturer un large éventail de caractéristiques du sous-nanomètre au millimètre.

L'équipement comprend :

  • Objectifs échangeables 
  • Source de lumière blanche
  • Plaque mobile avec inclinaison
  • Contrôle logiciel, traitement

Nom de l’équipement

Profilomètre optique

Marque

Veeco

Modèle

NT 1100

 

Caractéristiques:

Objectifs de la caméra:

  • Objectifs : *5, *50
  • Zoom: *0,5, *2
  • Champ de vision de 0,05 à 8,24mm


Modes :

  • VSI: interférométrie en lumière blanche
  • PSI: interférométrie à déphasage


Lampe halogène au tungstène:

  • Intervalle en Z : de 0,1nm à 1 mm
  • Résolution: <10nm
  • Vitesse de numérisation 2D maximale : 7.2µm/s



 

 

Profilomètre optique