Fiche équipement Désignation équipement Prober PA200 Description: Prober semi-automatique Il s’agit d’un banc de probing complet contenant les équipements nécessaires à la réalisation de mesures statiques et dynamiques de paramètres et grandeurs électriques sur un échantillon. Les différents éléments du banc de test : Excitation, Générateur de signaux (Agilent 33220A) Chuck motorisé, chauffant Pointes BF et HF LCR Mètre (Agilent 4284A) Multimètre (Agilent 34401A) Oscilloscope (Tektronix TDS 1012) Testeurs paramétriques (Keithley 4200) Analyse spectre & réseau (Agilent 4396B) Relais Dispositif de flexion 4 points Nom de l’équipement Banc de test électrique haute précision Marque Süss Microtec devenu Cascade Microtech Modèle PA200 Caractéristiques: - Taille de wafer : 200mm maximum - Résolution en courant : très bonne, de l’ordre de quelques femto-Ampères - Automatisation des mesures pour une meilleure reproductibilité sur des « tests standards » : Plateau motorisé Mesures réalisées à T ambiante, à cause des possibles déformations des probers en T - Mesures dynamiques de haute précision, gamme de fréquences jusqu’à 1 GHz, utilisation de pointes spécifiques pour les Hautes Fréquences - Mesures en température, jusqu’à 200°C (chuck)
