MEB Ultra-Haute Resolution Analytical FESEM HITACHI SU8600
GUN, COLUMN ET DETECTORS
- Canon de nouvelle génération à cathode froide avec technologie « Mild Flashing » (brevet Hitachi) permettant de maintenir un courant d’émission constant
- La pointe froide du SU8600 bénéficie d’une émission électronique à très faible dispersion énergétique - inférieure à 0,2eV - car l’émission se fait à température ambiante.
Les aberrations chromatiques sont minimisées et de ce fait, la pointe froide offre les meilleures performances « en conditions réelles » à très basse tension.
- La brillance d’une pointe froide est au moins 10 fois supérieure à celle d’une pointe Schottky, ce qui favorise un meilleur ratio Signal sur Bruit et un meilleur contraste. - Courant de sonde ajustable en continu et garanti de 1pA à 20 nA
- La pointe froide permet d’utiliser des courants de sonde extrêmement faibles même à haute tension d’accélération (applications analytiques sur échantillons sensibles, imagerie STEM).
- Résolutions garanties sur site :
> 0,6nm à 15 kV (tension d’accélération) et WD = 4mm avec le détecteur d’électrons secondaires en colonne
> 0,7 nm à 1kV (tension d’atterrissage) et WD = 1,5mm avec le détecteur d’électrons secondaires en colonne et l’utilisation du mode « 1 496.080,00 Décélération »
- Tension d’accélération réglable de 500V à 30kV, par pas de 10V et tension d’atterrissage (Landing Voltage) ajustable de 10V à 20kV, par pas de 10V
- Potentiel négatif applicable à l’échantillon (mode décélération) ajustable de -0,01kV à -3,5kV, par pas de 10V
- Le courant d’émission est réglable sur toute la gamme indépendamment de la tension d’accélération choisie
- Courant de sonde ajustable en continu et garanti de 1pA à 20 nA
- Le diaphragme objectif mobile, à quatre positions, est ajustable de l’extérieur de la colonne avec pré positionnement (100µm, 50µm, 50µm, 30µm)
- Le diaphragme objectif mobile à quatre positions est chauffé pour éviter sacontamination. Le dispositif peut être débrayé
- Les condenseurs C1 et C2 sont réglables indépendamment l’un de l’autre
- La résolution spatiale à la distance analytique est nanométrique. La nature de l’échantillon (massif ou en coupe fine) va déterminer la résolution spatiale en microanalyse, compte tenu de la poire d’interaction
SCANNING MODES, IMAGE ACQUISITION
- Alignement complet de l’optique en automatique avec une procédure de 1min40 (centrage du faisceau, focus, astigmatisme)
- Gamme de grandissements x20 à x10.000 en mode Low Mag et x100 à x2.000.000 en mode High Mag. Les grandissements indiqués correspondent à un format de type Polaroïd (4 pouces x 5pouces)
- Le grandissement minimum est accessible à toutes les distances de travail, sans distorsion - Modes de balayage faisceau d’observation directe et d’acquisition, multiples :
➔ Par trame (à partir de la vitesse TV) avec fonction d’intégration
➔ Par ligne (mode CSSCAN : Charge Suppression Scan) avec fonction d’intégration ➔ Temps de pose par pixel paramétrable en observation et en capture d’images
- Escamotage automatique du faisceau en fin de capture d’images
- Définition des images de 640 x 480 pixels à 10240 x 7680 pixels
- Format des images : Tiff (16 bits), Jpg,.Bmp - Retouche possible des niveaux de gris par visualisation de l’histogramme
- Annotation des images (textes, graphiques) en observation directe ou en post traitement - Observation possible de 6 images simultanément pendant le même balayage faisceau avec possibilité d’acquisition d’une ou de plusieurs images parmi les six
- Interface graphique paramétrable par les utilisateurs avec répartition des fonctionnalités logicielles sur deux écrans (voir exemple ci-après)
- Possibilité de mixer des images (2 ou 3) en observation directe et en acquisition
STAGE, CHAMBER, SPECIMEN EXCHANGE CHAMBER
- Platine 110mm (-35mm to +75mm) x 110mm (-55mm to + 55mm), compuceucentrique en rotation et en inclinaison, motorisée sur 5 axes, avec logiciel de navigation intégré permettant le déplacement automatique de la platine sur une zone préalablement repérée
- Débattement de platine : X=110mm Y=110mm Z=1,5mm à 40mm, T= - 5° à +70°, R= 0° à 360°. Tous les réglages se font en continu - Sas d’introduction des échantillons positionné sur le côté droit de la chambre, permettant l’insertion d’un ou plusieurs échantillons d’un diamètre total de 150mm et d’une hauteur de 36 mm (support inclus). L’autorisation de transfert se fait sur une mesure de vide
- Chambre avec ouverture frontale, platine coulissante sur des rails renforcés, permettant l’introduction d’un ou plusieurs échantillons d’un diamètre total de 200mm et d’une hauteur maximale de 45mm
- Nombreux ports disponibles (20) assurant l’adaptation et l’utilisation simultanée d’un détecteur SE, d’un détecteur BSE rétractable de l’extérieur, d’un détecteur STEM (DF-BF) rétractable de l’extérieur, d’un ou de deux détecteurs pour la microanalyse X - EDS, d’un système EBSD, d’une caméra infrarouge, d’un nettoyeur plasma, etc… OTHER FUNCTIONS
- L’interface graphique permet de visualiser au cours du même balayage faisceau, jusqu’à 6 signaux différents parmi : SE Lower, SE/BSE Upper, SE/BSE Top, BSE dans la chambre avec différentes polarisations des secteurs
- Possibilité de mixer des images en temps réel - Pupitre de commande avec rappel des fonctions principales (grandissement, mise au point, brillance/contraste, astigmatisme, alignement du faisceau, déplacement du faisceau, etc…)
- Interface DBC pour le contrôle des bobines de balayage par un système de microanalyse X extérieur (acquisition d’images, cartographies, etc…)
- Interface paramétrable selon les modes « Administrateur » et « Utilisateur »
- Mise en mémoire possible de jeux de conditions opératoires optimisées avec photo de l’échantillon en référence. Tous les paramètres peuvent être automatiquement rechargés mais il est possible de dévalider certaines fonctions (position de la platine par exemple)
- Historique des positions observées sur l’échantillon avec retour possible automatique sur ces positions
- Mémoire « tampon » avec conditions et positions de la platine, accessibles directement à l’écran
- Fonctions de rotation électronique de l’image, compensation d’inclinaison, Dynamic Focus VACUUM
- Pompe turbo moléculaire à paliers magnétiques 260 L/seconde avec reprise de vide secondaire en bas de colonne
- 2 pompes ioniques (2 x 45 litres/seconde) + 1 pompe NEG
- Visualisation en temps réel des niveaux de vide, à tous les niveaux par panneau frontal sous la chambre et par interface graphique à l’écran
- Vanne canon actionnée par air comprimé - Dispositif intégré d’étuvage du canon Niveaux de vide garantis : Canon ≦ 1.5×10 -9 Torr (IP1) ≦ 3.9×10-7 Torr (IP2) Chambre ≦1.5×10-5 Torr LE MEB FEG Hitachi SU8600 est protégé contre les coupures d’électricité. Les vannes pneumatiques s’actionnent instantanément et protègent le vide dans la colonne. La pointe froide n’a pas besoin d’être reconditionnée après une coupure d’électricité, ce qui permet de reprendre la session d’observation et analyse après quelques minutes. 2 UPPER Détecteur SE/Low Angle BSE en colonne (Upper Detector) à scintillateur associé au filtrage ExB, utilisable deWD=1,5mm à WD= 30mm à toutes les tensions d’accélération sans restriction de 10 eV à 30kV 1 INCLUS 3 EVERHARTT Détecteur SE de type Everhart-Thornley dans la chambre (Lower Detector), utilisable de WD=8 mm à WD max à toutes les tensions d’accélération sans restriction
