Fiche équipement Désignation équipement Semilab WT2000 Description: Fonctionnalités Le SEMILab WT2000 permet d’effectuer : Des cartographies µ-PCD (Microwave-induced PhotoConductive Decay) et la SPV (Surface PhotoVoltage) Des cartographies JPV (Junction PhotoVoltage) Des cartographies V-Q curve Compatible avec des wafers 100 à 200 mm Nom de l’équipement Semilab WT2000 Wafer Tester Marque SEMILAB Modèle WT2000 Caractéristiques: Exemples d’application Méthodes SPV µ-PCD : Défauts de croissance cristallin du silicium Contamination par des métaux lourds Défauts induits par le process Méthode JPV Contrôle des processus d'implantation et de recuit Méthode V-Q Épaisseur d'oxyde électrique Densité de l'interface Monitoring de la diffusion de contaminants Dommages dus au plasma / recuit
