Principe
L"XPS permet de :
. détecter tous les éléments à l'exception de l'hydrogène et de l'hélium,
. sonde la surface de l'échantillon à une profondeur de 5 à 10 nanomètres
. et a des limites de détection allant de 0,1 à 0,5 pourcent atomique en fonction de l'élément.
Avantages
. Possibilité d’analyser des échantillons isolants
. Information sur les liaisons chimiques
. La quantification est fidèle et juste (peu sensible aux effets de matrice)
. Analyse de tout type de matériaux (isolants ou conducteurs)
Inconvenients
. Faible résolution latérale
. Sensibilité limitée (de 0.5 à 5% atomique)
. Sensibilité dégradée avec la taille de la surface analysée, en modes profil et image
Principales caracteristiques
. Source : Al monochromatée
. Taille maximale des échantillons (L x l x h) : 100 x 100 x 10 mm.
. Resolution latérale minimale : jusqu'à 15 µm sur les majoraitaires
. Analyse sur pleine plaque (30 cm)
. Cartograhies elementaire et chimiques
. Profilage en profondeur (par pulverisation ionique ou par resolution angulaire)
