Fiche équipement

Désignation équipement

PECS

 

Description:

Gravure et métallisation : Pulvériser le revêtement sur une surface, nettoyage mécanique / attaque chimique de la surface avec des ions Ar.

Nom de l’équipement

PECS (Precision Etching Coating System) Gatan 682

Marque

Gatan

Modèle

682 PECS

 

Caractéristiques:

Trois sources d'ions individuelles (énergie des ions 1-10KeV), Zone de gravure de 7 à 10 mm en fonction de l’énergie du canon, Taux de gravure 10 µm /h pour le silicium et 3 µm /h pour le tungstène à 10,0 keV; Taux de revêtement 0,5Å / sec pour le carbone et 1,5Å / sec pour le chrome à 10,0 keV; Uniforme sur un diamètre de 1 pouce; Deux ensembles de cibles doubles, sélectionnables de l'extérieur sous vide; Matériaux cibles: Au / Paladium, tung, C, Cr, Al

 

PECS (Precision Etching Coating System) Gatan 682