Fiche équipement Désignation équipement Dépôt ARC Description: Il s’agit d’un équipement, type centrifugeuse, permettant de déposer, sur n’importe quel matériau et de manière uniforme, une couche antireflet, en prévision d’applications optiques, notamment de l’imagerie. Afin de réduire les reflets et améliorer le contraste lors d’une analyse à l’aide d’une imagerie optique, il convient de déposer, en général après une préparation backside, une fine couche de produit antireflet à la surface de l’échantillon à analyser. Voir l'exemple Cela peut être utilisé sur n’importe quel échantillon, à condition qu’il soit lisse, pour augmenter ses propriétés de réflexion. Cet équipement est composé de : Chuck, sur axe de la tournette Système de centrifugation Exemples de réalisations Nom de l’équipement Dépôt de ARC Marque Digitconcept Modèle ARCLite Caractéristiques: - Echantillon : de 1 mm² à Wafers 2, 8‘’ - Fluides : 2 types (Normal & ‘FIB friendly’) - Epaisseur obtenue : < 1µm - Simplicité et rapidité d’exécution : Dépôt fonctionnel par voie liquide et sans autre traitement particulier, Moins de 1 minute - Facilité d’utilisation Process simple, Pas de recuit nécessaire
